SEM的基本構(gòu)造和成像原理
組成部件:電子槍、電子透鏡、掃描系統(tǒng)、電子收集系統(tǒng)(形貌分析)、成像熒光屏、X射線接收系統(tǒng)(成分分析)
掃描電子顯微鏡的原理由電子槍發(fā)出的電子束在電場(chǎng)的作用下加速,經(jīng)過三個(gè)透鏡聚焦成直徑為5nm或更細(xì)的電子束。該電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描,激發(fā)樣品產(chǎn)生出各種物理信號(hào)。信號(hào)探測(cè)器收集這些并按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)。通過對(duì)其中某種信號(hào)的撿測(cè),視頻放大和信號(hào)處理,最終在顯示屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖象。
為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和掃描像(尤其是二次電子像)分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
如果要求樣品表面掃描的電子束直徑為dp,電子源(即電子槍第一交叉點(diǎn))直徑為de,則電子光學(xué)系統(tǒng)必須提供的縮小倍數(shù)M為:
SEM的原理:能顯示各種圖像的信息是由于聚焦的電子束與樣品的相互作用而產(chǎn)生的各種信號(hào)。相互作用區(qū)的線性體積:
a.隨原子序數(shù)的增加而減小;
b.隨電子束能量的增加而增加;
c.電子束與樣品的角度關(guān)系是傾斜角增加時(shí),相互作用區(qū)變小。
樣品的成分、加速電壓都影響相互作用區(qū),一般情況下,相互作用區(qū)比束斑大,每種信號(hào)從固體發(fā)出的空間范圍,是決定掃描圖像空間分辨能力的重要因素。
相關(guān)產(chǎn)品
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