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質(zhì)量流量控制器一般分為哪幾種類型?

來源:北京華丞電子有限公司   2023年05月17日 14:30  
  質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。廣泛用于真空鍍膜,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造等設(shè)備中。以及石油化工,冶金,制藥等行業(yè)。
  質(zhì)量流量控制器一般分為以下幾種類型:
  1、容積式流量計(jì)——又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分,根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。
  2、浮子式流量計(jì)——又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì),是變面積式流量計(jì)的一種,在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中,圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的,從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
  3、差壓式流量計(jì)——是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓,已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計(jì)算流量的儀表。
  4、渦街流量計(jì)——在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體,流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。
  5、渦輪流量計(jì)——是速度式流量計(jì)中的主要種類,它采用多葉片的轉(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流速,從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。
  6、超聲流量計(jì)——通過檢測流體流動(dòng)對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。
  7、電磁流量計(jì)——電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計(jì)有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。
  8、熱式流量計(jì)——熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)流速傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

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