簡述小型掃描電鏡的常見問題解決方法

來源：津鈉儀器(上海)有限公司 2023年05月15日 14:43

　　小型掃描電鏡是一種基于樣品的表面形貌進行成像的顯微鏡，由于其高放大倍數、高空間分辨率以及高深度分辨率等特點，被廣泛應用于材料科學、生物醫藥、地質化學、環境科學等領域。但是在使用過程中，可能會出現一些常見問題，這里為大家介紹幾種常見問題的解決方法：

　　1、樣品不平衡或破碎

　　當在電子槍下加速電壓較高時，有時樣品會因為離心力不平衡而產生晃動，導致成像失真。此時需要檢查樣品裝夾是否合適，并且均勻固定在掛鉤上。如果樣品發生了破碎，也可能是輸送和接收樣品的方法不正確，需要適當調整。

　　2、樣品粗糙或吸濕

　　在使用時，對于樣品的制備，尤其是表面情況，非常重要。粗糙的表面會導致圖像模糊，而吸濕則可能導致帶電粒子在SEM上聚集，從而影響分辨率和圖像質量。因此，為了得到更好的樣品成像效果，需要對樣品進行仔細處理，并保證剛剛上載入到SEM室內的樣品表面清潔和干燥。

　　3、檢測不到電子信號

　　在使用時，出現無信號故障是很常見的一個問題。這可能是由于電子槍工作異常或輸送過程中管道出現故障所引起的。如果發生此類情況，可以檢查電源開關和線路是否正常，如果必要可以讓廠家提供售后服務。

　　4、場致發射電子槍陰極降解

　　使用電子槍及其周圍的構件時會產生大量的高能電子束，惡劣情況下可能導致電子槍結構部件的磨損和腐蝕，從而影響儀器性能甚至使之損壞。因此，在平時的使用中，需要定期檢查、清潔和更換受損、降解的部件，以確保處于良好的工作狀態。

　　總的來說，針對小型掃描電鏡常見故障，我們可以通過認真檢查設備故障以及定期對其系統和部件進行檢查和保養等方式降低設備故障發生的幾率，從而延長其使用壽命。

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