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leybold萊寶真空計測量原理分類闡述

來源:東莞市廣聯自動化科技有限公司   2023年04月06日 11:17  

leybold萊寶真空計測量原理分類闡述


真空系統工藝應用,需要測量真空性能。用于真空測量的設備被稱為真空計,測量范圍從高于大氣壓 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 至 10-12 mbar/torr ,沒有任何一種技術能夠在此大范圍內測量。


因此,萊寶提供了多種不同的真空計,每種真空計都有自己的特點,能夠在自己的量程內測量真空。為了擴大測量范圍,可以將多種技術組合到一個真空計中,以減少系統中所需的連接。  


真空測量原理分類:直接測量和間接測量。

如果是直接測量(測量結果氣體種類無關),通過真空計獲得的讀數與氣體類型無關,測得的壓力始終是系統的真實壓力。這些真空計通常依靠膜片的機械偏轉來運行,其測量范圍是從高于大氣壓力至 10-4 mbar/torr 壓力。此類真空計可以在較小量程內提供高精度,并且通常非常堅固。 

如果是間接測量,測量通過氣體相關特性(例如熱導率、電離概率)進行測定。這些特性不僅取決于壓力,還取決于氣體的摩爾質量,所以測量結果與氣體種類相關。真空計讀數以的空氣或氮氣標定,對于其他蒸汽或氣體,必須增加相應的修正系數。此類真空計能夠在更廣的范圍(大氣壓至 10 x 10-12mbar 壓力,具體取決于真空計類型/組合)測量,但精度略低。 


區分真空計的另一個判斷依據是傳感器還是變送器。萊寶既提供真空變送器,也提供真空傳感器。

真空變送器是指將傳感器與信號控制和輸出電子器件結合在一起,以便輕松集成到系統中。 


無源測量是指將傳感器與電子器件分離,然后將電子器件單獨保留在專用控制器中。其優點是,它們可在電子器件無法正常工作的環境(例如高輻射環境)中使用,并且可以從上述環境中移除單獨的控制器。


寬量程真空測量

在寬泛的真空范圍內進行穩定、可靠、準確的壓力測量。


THERMOVAC TTR/TR 系列 - 特別適用于監控粗真空和前級真空。 

PENNINGVAC PTR/PR 系列 – 支持高真空測量,也稱為全量程真空計。

IONIVAC ITR/IE 系列 – 將真空計量程擴展到超高真空范圍。

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leybold萊寶真空計測量原理分類闡述

精密真空測量

在惡劣的環境中實現高水平的準確性和重復性,這些真空計是精細系統控制的理想選擇。


CERAVAC CTR 真空計 - 電容薄膜真空計系列的好選擇。

DI/DU 真空計 - 準確性略低,但適用于臟污/潮濕/多塵環境。


真空泵和真空計控制器

對既需要顯示測量結果又將測量結果集成到控制系統中的需求,萊寶提供一系列控制器,可供您選擇。    

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