leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理介紹

首先LEYSPEC 殘余氣體分析儀 (RGA) 產品系列可實現簡單直觀的操作。

按下按鈕，即可顯示關鍵氣體的分壓，如果您的工藝涉及額外的氣體，還可以將其分配到備用顯示通道進行顯示。 

LEYSPEC 可達到較高的加熱除氣溫度，因此非常適合在要求苛刻的高真空和超高真空應用中使用。 

leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理

測量元件是一個熱陰極電離真空計。電子從熱絲中發射出來，并通過電偏壓裝置加速射向源位置。快速移動的電子與氣體分子發生碰撞，撞出電子，從而對氣體進行電離。正氣體離子向帶負電的離子收集器提供電流。離子電流與壓力成比例。離子越多，離子電流越高。四極陣列由四個不銹鋼電極組成。直流和高頻電壓施加到所有電極后，會形成一個復雜的磁場。通過改變電壓，可以控制該磁場。 

產生的振動只允許特定質量的離子“飛過”并到達檢測部分： 

具有適當質荷比 (m/e) 的離子將以穩定的三維軌跡振蕩通過電極。 

質荷比不正確的離子將不受控制地發生振蕩，并與電極發生碰撞

離子到達離子收集器并產生輸出電流，該電流用于度量通過濾波器的離子相對豐度。離子電流或分壓與質荷比的關系隨后顯示在裝置上或軟件中。

根據所述工作原理，LEYSPEC RGA 通過查找和顯示氣體成分來驗證氣體純度。這使 LEYSPEC 能夠識別氣體污染物，并執行進一步的工藝和設備控制，從而全面優化工藝性能和產量。

一體化儀器，操作簡單直觀

LEYSPEC 殘余氣體分析儀具有高靈敏度，可檢測痕量的污染物或工藝氣體。該產品系列具有針對 100、200 和 300 amu 的解決方案。在惡劣環境中操作時，可實現高達 300 °C 的加熱除氣溫度。

LEYSPEC 自帶軟件并集成了控制和顯示裝置，可通過它們直觀地實現操作。無需連接到計算機即可進行簡單的殘余氣體分析。只需按一下按鈕即可顯示關鍵氣體，還有一個備用顯示界面，用于顯示額外的氣體。

它們也適用于高真空系統中要求嚴格的測試程序和殘余氣體分析。

憑借 LEYSPEC 的預安裝功能，如氦氣泄漏測試、可選氣體的警告和錯誤級別，以及啟動后脫氣功能或通氣功能，此殘余氣體分析儀對于任何系統來說都是一個有益補充。