半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中使用的鉸接式機(jī)器人的振動(dòng)監(jiān)測(cè)技術(shù)

使用鉸接式機(jī)器人進(jìn)行生產(chǎn)對(duì)于半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)至關(guān)重要。

在這種情況下，機(jī)器人在運(yùn)輸過程中對(duì)產(chǎn)品的異常影響是一個(gè)主要問題，因?yàn)樗鼤?huì)導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。

因此，我們的產(chǎn)品“3軸加速度傳感器MA3系列”可以檢測(cè)何時(shí)發(fā)生異常沖擊，因此有將其集成到機(jī)器人中的示例。

MA3 系列 3 軸加速度計(jì)通過改變模擬電壓輸出 X、Y 和 Z 方向的加速度。 輸出可以導(dǎo)入PLC并通過設(shè)置閾值進(jìn)行判斷。

根據(jù)判斷結(jié)果，可以通知異常，在某些情況下，可以停止設(shè)備。

“3軸加速度計(jì)MA3系列”有兩種類型，通用型和高頻型，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻段進(jìn)行選擇。

此外，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度大小選擇測(cè)量范圍。

能夠處理高G和高頻的3軸加速度計(jì)

易于連接，無需內(nèi)置放大器結(jié)構(gòu)。

國(guó)產(chǎn)，高品質(zhì)，內(nèi)部校準(zhǔn) 配備齊全的質(zhì)量支持系統(tǒng)。

1. 壓力機(jī)異常時(shí)自動(dòng)停機(jī)，防止模具損壞和產(chǎn)量損失

• 有廣泛的接送支持。 還可以測(cè)量壓力機(jī)的高G高頻沖擊。

2. 除了加工設(shè)備異常的發(fā)生外，我們還查明原因并提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

• 通過對(duì)加速度測(cè)量數(shù)據(jù)等進(jìn)行頻率分析，我們識(shí)別出預(yù)測(cè)異常的部件。

3. 通過將切割設(shè)備連接到第三方PLC（定序器），還可以以較低的引入成本進(jìn)行異常監(jiān)測(cè)。

• 由于它具有內(nèi)置放大器，因此只需將其直接連接到已安裝的PLC即可進(jìn)行測(cè)量。