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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡之間的比較

來(lái)源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2023年03月21日 11:27  
    場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是高分辨率電子顯微鏡中的一種,相對(duì)于透射電子顯微鏡(TEM),其最大的區(qū)別在于掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子束是以特定方式掃描樣品表面,而不是穿過(guò)樣品內(nèi)部,從而可以獲得樣品表面的圖像和信息。以下是掃描電子顯微鏡的一些具體區(qū)別:
 
  1.分辨率:SEM的分辨率通常在納米至亞納米級(jí)別,比TEM要稍低一些,但對(duì)于樣品表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)的觀察和分析,已經(jīng)足夠應(yīng)用于許多領(lǐng)域。
 
  2.樣品要求:由于掃描電子顯微鏡是在真空條件下進(jìn)行操作的,因此樣品必須是干凈的、不易揮發(fā)的、導(dǎo)電性強(qiáng)的,如金屬、陶瓷或者沒(méi)有太多的表面草酸鹽的非金屬材料,但這個(gè)限制已經(jīng)不是很大的問(wèn)題,因?yàn)橛泻芏喾椒梢杂糜谔幚順悠返碾妼?dǎo)性和表面清潔。
 
  3.成像模式:TEM在成像時(shí)是通過(guò)成像鏡頭在樣品內(nèi)部進(jìn)行成像的,而SEM則是通過(guò)電子束掃描在樣品表面進(jìn)行成像。SEM的掃描模式分為兩種,一種是圖案成像模式,類似于電視屏幕的成像方式,每次掃描一個(gè)圖案進(jìn)行成像;另外一種是逐行成像模式,類似于傳統(tǒng)電子顯微鏡,但只掃描樣品表面,成像時(shí)需要對(duì)樣品進(jìn)行一定程度的運(yùn)動(dòng)以獲得整個(gè)樣品表面的圖像。
 
  4.成像信息:SEM可以提供樣品表面形貌及其微觀結(jié)構(gòu)、表面元素成分和形態(tài)分布等更為具體的信息,而TEM則可以提供樣品內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)信息。
 
  總之,場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡作為一種*的顯微技術(shù),越來(lái)越得到廣泛的應(yīng)用,不僅在物理學(xué)、化學(xué)、材料學(xué)等基礎(chǔ)科學(xué)研究中,還在醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、電子工程、環(huán)境保護(hù)和地球科學(xué)等領(lǐng)域中發(fā)揮了重要作用。

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