看完本文，了解下sem掃描電鏡的結構組成

來源：賽默飛電子顯微鏡 2023年03月12日 09:24

　　sem掃描電鏡的結構組成：

　　sem掃描電鏡由電子光學系統、信號收集及顯示系統、真空系統及電源系統組成。

　　1、電子光學系統

　　電子光學系統由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為使樣品產生各種物理信號的激發源。

　　為獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

　　2、電子槍

　　其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產生高能量的電子束。

　　掃描電子顯微鏡電子槍與透射電子顯微鏡的電子槍相似，只是加速電壓比透射電子顯微鏡的低。

　　3、電磁透鏡

　　其作用是把電子槍的束斑逐漸聚焦縮小，使原來直徑約50um的束斑縮小成一個只有數nm的細小束斑。

　　掃描電子顯微鏡一般由三個聚光鏡，前兩個聚光鏡是強透鏡，用來縮小電子束光斑尺寸。第三個聚光鏡是弱透鏡，具有較長的焦距，該透鏡下方放置祥品，為避免磁場對二次電子軌跡的干擾，該透鏡采用上下極靴不同且孔徑不對稱的特殊結構，這樣可以大大減小下極靴的圓孔直徑，從而減小了試樣表面的磁場強度。

　　4、掃描線圈

　　掃描線圈是掃描電子顯微鏡的一個重要組件，它一般放在最后二透鏡之間，也有的放在末級透鏡的空間內，使電子束進入末級透鏡強磁場區前就發生偏轉，為保證方向一致的電子束都能通過末級透鏡的中心射到樣品表面;掃描電子顯微鏡采用雙偏轉掃描線圈。

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