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半導體行業真空室內被處理物體的溫度如何檢測？
用于測量真空室內被處理物體的溫度。
通過窗口測量真空層或容器內的物體。
選型要點
Japan Sensor 產品提供范圍廣泛的測量距離和目標尺寸。
我們擁有適用于各種應用的產品陣容，例如最大 0.1ms 的高速響應和 0°C 至 1350°C 和 90°C 至 2000°C 等寬范圍測量。
所選機型
在惡劣環境和狹小空間也能自由使用的1ms光纖型
半階型
光纖式輻射溫度計FTKX系列
測量溫度范圍：100°C至2000°C
纖維型（耐熱磁場）
高溫
用于通過石英
0.1ms/1ms快速響應
用于金屬
1ms 輻射溫度計，規格可根據測量對象改變
無纖維輻射溫度計 FLHX 系列
測量溫度范圍：90°C 至 2000°C
高溫
用于通過石英
0.1ms/1ms快速響應
用于金屬
金屬的高速測溫
金屬用輻射溫度計
TMHX-TME0050(H)系列測量溫度范圍：50°C至600°C
用于金屬
低溫
用于通過石英
金屬的高速測溫
金屬用輻射溫度計
TMHX-TME0050(E)系列
小頭型測量溫度范圍：50°C至600°C
用于金屬
低溫
用于通過石英
甚至可以透過石英玻璃！
穿透式石英輻射溫度計
TMHX-CQE0500(H)系列
小點型測量溫度范圍：50°C 至 500°C
用于通過石英
低溫
甚至可以透過石英玻璃！
穿透式石英輻射溫度計
TMHX-CQE0500(E)系列
小頭型測量溫度范圍：50°C 至 500°C
用于通過石英
低溫
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