離子研磨儀的工作原理

來源：蘇州合儀精密電子科技有限公司 2023年02月28日 09:19

由于機械加工導致的樣品表層邊緣遭到破壞且所積累的殘余應力無法得到釋放，最終造成無法獲得樣品表層納米梯度強化層真實精準的原位力學性能。離子研磨系統可以無應力的去除樣品表面層，加工出光滑的鏡面。兼容平面和截面兩種加工方式，為相關檢測的樣品制備提供了有效的解決方案。

離子研磨儀的原理：

離子研磨法是利用通過電場加速過的離子轟擊樣品表面，在樣品表面產生濺射效應，由此制備尺度為毫米級別的平滑表面的研磨方法。氬氣屬于惰性氣體，基本不會和樣品發生化學反應，因此通常我們采用Ar作為離子源轟擊樣品。SEM樣品常用到的離子研磨法有截面研磨和平面研磨兩種。

日立IM4000Plus離子研磨儀利用氬離子對樣品即可以進行平面研磨，也可以進行截面切割，是對樣品進行無應力加工的理想工具，不會產生傳統的切割或機械拋光帶來的變形錯位、機械應力或劃痕污染等對樣品的形貌觀察和結構分析帶來的不利影響，通過制冷功能可以對受熱易損傷的樣品進行加工。

特點：

1.即可進行截面切割，也可進行平面研磨

2.加工效率更高，截面約500μm/h

3.程序控制間歇式加工

4.通過制冷功能可以對受熱易損傷的樣品進行加工

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