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納米壓痕儀是一款多功能微米、納米機械性能測試平臺。
性能，操作簡易。CETR-APEX壓痕和劃痕測試儀，配備6種容易互換的機械頭，高倍率顯微鏡和成像模塊(AFM和三維光學輪廓儀)。納米壓頭用來測量超薄涂層尤其是納米級涂層以及塊體材料的厚度、硬度、楊氏模量等。微米壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量等機械性能測量。納米、微米級摩擦學壓頭用于薄膜、涂層以及塊體材料的摩擦磨損測量、靜態/動態摩擦學測量、度、附著力，粘滑性等機械性能測量。
1.三個測量探頭
左側：機械性能測試，可以簡便更換納米、微米壓頭；
中部：顯微鏡，多達4個不同放大倍數的物鏡，隨意切換；
右側：掃描成像，AFM和三維光學輪廓儀隨意切換。
2.六種機械壓頭
奈米壓痕壓頭
用來測量超薄涂層尤其是奈米級涂層以及塊體材料的硬度,楊氏模量等（樣品表面需較為光滑，以確保數據可靠性) 。
奈米劃痕壓頭
主要用于奈米級超薄涂層的厚度測量、太陽能薄膜、ITO薄膜和光學涂層等)。
微米壓痕壓頭
儀器的微米壓痕壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度和楊氏模數等機械性能測量。
微米劃痕壓頭
主要用于較厚涂層的微米級劃痕測量油漆、裝飾涂料等)。
毫米劃痕壓頭
用于宏觀尺度的劃痕測量。
納米、微米級摩擦學壓頭
納米壓痕儀用于薄膜、涂層以及塊體材料的磨潤測量、靜態/動態摩擦學測量、度、附著力、粘滑性等機械性能測量。
納米壓痕儀對測試的要求
1. 樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2. 特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數據可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對于表面比較粗糙的樣品，測試結果比較離散，建議測試點數不低于10個；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比；
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統、 移動線圈系統、加載系統及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗時，首先輸入初始參數，之后的檢測過程則由微機自動控制，通過改變移動線圈系統中的電流，可以操縱加載系統和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應變儀來完成，同時應變儀還將信號反饋到移動線圈系統以實現閉環控制，從而按照輸入參數的設置完成試驗。
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