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小型蒸鍍儀體積小，功能齊全，但它配備了電壓和電流反饋、樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品高度調(diào)節(jié)和電動擋板功能。通過定期調(diào)節(jié)預(yù)熱功率和蒸發(fā)功率，大多數(shù)金屬可以均勻地蒸發(fā)和沉積。真空室由透明石英玻璃制成，以減少樣品污染。可以旋轉(zhuǎn)樣品臺以獲得更均勻的膜，并且可以制備各種金屬膜和有機(jī)膜。
小型蒸鍍儀工作包括以下基本工藝：
1、加熱蒸發(fā)過程：包括從冷凝相變成氣相的過程。每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下具有不同的飽和蒸汽壓。
2、氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源和基底之間的傳輸是原子或分子于環(huán)境大氣中的飛行過程。
3、蒸發(fā)原子或分子在基材表面的沉積。即蒸發(fā)、冷凝、成核、成核和生長以形成連續(xù)膜。因?yàn)橐r底的溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度，所以氣體分子的相變過程將直接在襯底表面從氣態(tài)到固態(tài)發(fā)生。
小型蒸鍍儀實(shí)驗(yàn)步驟：
1、將待濺射的基材放入蒸發(fā)和電鍍儀器的腔室中。
2、根據(jù)蒸發(fā)和電鍍所需的材料選擇金屬蒸發(fā)頭/鎢籃或碳蒸發(fā)頭，并根據(jù)儀器操作規(guī)則程序安裝蒸發(fā)和電鍍需要的材料。當(dāng)使用碳棒蒸發(fā)頭時(shí)，一根電極線連接到儀器背面的黑洞，一根導(dǎo)線連接到紅孔；當(dāng)使用金屬蒸發(fā)頭時(shí)，一根電極線連接到儀器背面的黑洞，一根導(dǎo)線連接到綠洞。
3、根據(jù)儀器的操作規(guī)則逐步操作儀器，實(shí)驗(yàn)結(jié)束時(shí)取出樣品。由于長時(shí)間使用后，燃燒室周圍沉積了厚厚的涂層，因此應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況及時(shí)清潔燃燒室。但是，不允許使用丙酮和乙醇等有機(jī)試劑清潔橡膠圈，以避免老化導(dǎo)致的空氣泄漏。關(guān)閉主機(jī)電源和原點(diǎn)，切斷儀器的主電源并蓋住儀器。
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