GDSKDY-1L型四探針電阻率測試儀是我公司嚴格按照硅片電阻率測量的,標準(ASTM F84)及,標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點
1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測,過程中的電流變化,使操作%簡便,測量%,。
數字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:0.00001 —1990Ω·cm。
可測方塊電阻范圍:0.0001—19000Ω/□。
3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點電阻%低(<5mΩ)、使用壽命%長的轉換開頭及繼電器(>10%),在,緣電阻、電流容量方面留有%大的,系數,提高了測試儀的,性和使用壽命。
6、可加配HQ-710E微處理機及打印機,實現自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率,值、,值、,百分變化率、平均百分變化率等內容。
7、可加配電腦,使用,軟件進行數據采集,實現自動換向測量、存儲,求平均值,,值、,值、,百分變化率、平均百分變化率等內容。
8、可配KDDJ-2電動測試架,自動上下運行,使測量%方便快捷。
9、四探針頭采用,上,的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高
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