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什么是濺射靶材?

來源:深圳市儀寶科技有限公司   2023年01月09日 16:03  

濺射靶材是制備半導(dǎo)體的核心材料之一。半導(dǎo)體制備過程中,在晶圓制造及芯片封裝兩大環(huán)節(jié)均需用到濺射靶材。在晶圓制造環(huán)節(jié),濺射靶材主要用于制作晶圓導(dǎo)電層、阻擋層以及金屬柵極,通常要求靶材純度在5N (99.999%)以上,主要使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材、鉅靶材等,在芯片封裝環(huán)節(jié),濺射靶材主要用于貼片焊線的鍍膜,多使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材等靶材。

半導(dǎo)體行業(yè)常會見到一個詞,靶材,那么靶材是什么? 為什么靶材如此重要?今天我們就來說說靶材是什么?靶材是什么?簡單地說,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

目前,(純度)濺射靶材按照化學成分不同可分為

1) 金屬靶材(純金屬鋁、、銅、銀等)

2) 合金靶材(鎳鉻合金、鎳鉆合等)

3) 陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等).

按開關(guān)不同可分為:長靶、方靶、圓靶

按應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為:半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材、具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。

看到這里,大家應(yīng)該了解了高純?yōu)R射靶材,知道了金屬靶材的鋁、缽、銅、鉅,在半導(dǎo)體晶圓制造中,200mm(8寸)及以下晶圓制造通常以鋁制程為主,使用的靶材以鋁、達元素為主。300mm( 12寸)晶圓制造,多使用先進的銅互連技術(shù),主要使用銅、鉅靶材。

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濺射靶材是制備半導(dǎo)體的核心材料之一。半導(dǎo)體制備過程中,在晶圓制造及芯片封裝兩大環(huán)節(jié)均需用到濺射靶材。在晶圓制造環(huán)節(jié),濺射靶材主要用于制作晶圓導(dǎo)電層、阻擋層以及金屬柵極,通常要求靶材純度在5N(99.999%)以上,主要使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材、鉅靶材等,在芯片封裝環(huán)節(jié),濺射靶材主要用于貼片焊線的鍍膜,多使用銅靶材、鋁靶材、鐵靶材等靶材。

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半導(dǎo)體用濺射靶材

半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領(lǐng)域。具體來講,半導(dǎo)體芯片的制作過程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封裝等三大環(huán)節(jié),其中,在晶圓制造和芯片封裝這兩個環(huán)節(jié)中都需要用到金屬濺射靶材。

半導(dǎo)體用濺射靶材

半導(dǎo)體芯片用金屬濺射靶材的作用,就是給芯片上制作傳遞信息的金屬導(dǎo)線。具體的濺射過程: 首先利用高速離

子流,在高真空條件下分別去轟擊不同種類的金屬濺射靶材的表面,使各種靶材表面的原子一層一層地沉積在半導(dǎo)體

芯片的表面上,然后再通過的特殊加工工藝,將沉積在芯片表面的金屬薄膜刻蝕成納米級別的金屬線,將芯片內(nèi)部數(shù)

以億計的微型晶體管相互連接起來,從而起到傳遞信號的作用。


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