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X熒光光譜儀是元素分析的主要儀器之一，在元素分析中具有制樣簡單、無損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時分析等優點。目前市場上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長色散型的儀器，但這種傳統的儀器有時候靈敏度不夠高，無法滿足微量或痕量應用領域的檢測需求，因此這制約了它的發展。
X熒光光譜儀采用兩種分光技術，一是通過分光晶體對不同波長的X-熒光進行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長處X-熒光強度，這項技術稱為波長色散光譜。另一項技術是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過探測器轉變成電脈沖信號，經前置放大后，用多道脈沖高度分析器進行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡稱X-熒光能譜。
X熒光光譜儀較常見的故障，一般發生在開機時，偶爾也發生在儀器運行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統;2、內部水循環冷卻系統;3、高壓發生器及X射線光管。今天咱們來分析下從X射線防護系統來看產生故障的原因：
為了防止X射線泄漏，高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才能啟動。射線防護系統正常與否，主要檢查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。是一個封閉系統，面板是外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有合上，高壓開不起來。
2、X射線的警示標志是否正常。國家標準規定，必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。
有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統引起，即將儀器的狀態設定為維修狀態，屏蔽射線防護系統，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統的問題引起的。
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