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HYDAC壓力傳感器工作原理你了解多少?

來源:東莞市廣聯自動化科技有限公司   2023年01月04日 11:33  

HYDAC壓力傳感器工作原理你了解多少? 

    在選擇賀德克壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。

最后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

HYDAC壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產設備,利用來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一定的誤差校準,盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

  賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應變計)組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉換為位移或應變,然后由位移敏感元件(見位移傳感器)或應變計(見電阻應變計、半導體應變計)轉換為與壓力成一定關系的電信號。有時把這兩種元件的功能集于一體,如壓阻式傳感器中的固態壓力傳感器。

  賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質間作用力能量的總稱,也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術的發展,利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性,研制出半導體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點,因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時,其電阻率會產生一定的變化。這種導體電阻率變化和應力之間的相互關系稱為半導體壓阻效應,利用此效應制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導體應變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,使應變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴散型壓阻式傳感器。

  賀德克壓力傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種自然晶體,壓電效應就是在這種晶體中發現的,在一定的溫度范圍之內,壓電性質一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質*消失(這個高溫就是所謂的 “ 居里點 ” )。由于隨著應力的變化電場變化微小(也就說壓電系數比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替換。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數,但是它只能在室溫順濕度比較低的環境下才能夠應用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫順相當高的濕度,所以已經得到了廣泛的應用。

  壓電效應是賀德克壓力傳感器的主要工作原理,賀德克壓力傳感器不能用于靜態丈量,由于經過外力作用后的電荷,只有在回路具有無窮大的輸進阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠丈量動態的應力。

  壓電傳感器主要應用在加速度、壓力和力等的丈量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊丈量中已經得到了廣泛的應用,特別是航空和宇航領域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來丈量發動機內部燃燒壓力的丈量與真空度的丈量。

  賀德克壓力傳感器主要應用在加速度、壓力和力等的丈量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊丈量中已經得到了廣泛的應用,特別是航空和宇航領域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來丈量發動機內部燃燒壓力的丈量與真空度的丈量。也可以用于*事產業,例如用它來丈量在膛中擊發的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來丈量大的壓力,也可以用來丈量微小的壓力。

  賀德克壓力傳感器也廣泛應用在生物醫學丈量中,比如說心室導管式微音器就是由壓電傳感器制成的,由于丈量動態壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應用就非常廣泛。除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應制造出來的壓阻傳感器,利用應變效應的應變式傳感器等,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應和不同的材料,在不同的場合能夠發揮它們*的用途。

  賀德克壓力傳感器的發展趨勢是進一步提高動態響應速度、精度和可靠性以及實現數字化和智能化等。常用賀德克壓力傳感器有電容式壓力傳感器、變磁阻式壓力傳感器(見變磁阻式傳感器、差動變壓器式壓力傳感器)、霍耳式壓力傳感器、光纖式壓力傳感器(見光纖傳感器)、諧振式壓力傳感器等。

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