數字式四探針測試儀是根據四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質量監測的儀器。儀器為臺式結構，分為電氣箱、測試架兩大部分，用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧壓力裝置，壓力從0—2Kg連續可調，測試架設有手動和電動兩種裝置供用戶選購。儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩定的恒流源組成，測量結果由數字直接顯示，儀器有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校驗。儀器具有測量高、靈敏度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，儀器適用于半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院校，對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
主要參數：
范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm
測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）
數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
測量誤差------------ 0.2mV檔±（0.3%讀數+8字）
2 mV檔以上±（0.3%讀數+2字）
輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω    0mV檔以上>108Ω
顯示3 1/2位數字顯示，0—1999
具有極性和過載自動顯示，小數點、單位自動顯示
恒流源：
（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續可調，由交流電源供給
（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
（3）電流誤差-----：±（0.3%讀數+2字）
四探針測試探頭
(1）探頭間距：1mm   (2)探針機械游率：±0.3%
(3) 探針：Φ0.5mm    (4)壓力：可調
測試架：
（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。
（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操作，設有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S可調，探頭下降時間1S—99S可調，壓力恒定可調（由砝碼來設定）同時設有腳踏控制裝置由腳踏開關控制探頭上下運動。
電流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W
外形尺寸：電氣箱130×110×400mm

BXBD-086半導體電阻率測試儀

半導體電阻率測試儀是普及型半導體電阻率測試儀器，本儀器是根據四探針原理，適合半導體器材廠，材料廠用于測量半導體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（簿層電阻），也可以用作測量金屬薄層電阻，經過對用戶、半導體廠測試的調查，根據ASTM標準的規定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術上的許多突破，它更適合于半導體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量高，穩定性好，輸入阻抗高，使用方便等特點。
主要參數：
測量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω
可測半導體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm；長度：150mm(可擴展500mm)
測量方式：軸向、斷面均可
數字電壓表：
（1）量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V
（2）測量誤差：±0.3%讀數±1字
（3）輸入阻抗：大于108Ω
（4）顯示3 1/2 位紅色發光二極管（LED）數字顯示
0---1999具有極性、過載、小數點、單位自動顯示
恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能
直流電流：0—100mA連續可調
量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
電流誤差：±0.3%讀數±2字
電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標
測試探頭：（1）探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標
電源：交流220V±10%  50HZ或60HZ  功率消耗< 30W
電氣箱外形尺寸：119×440×320mm