粗糙度測量儀的工作原理:基于針跡原理的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅動器、零位指示器、記錄器和電感傳感器組成,電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一。傳感器測量桿的一端安裝有金剛石觸針,觸針頂端的曲率半徑R很小。測量時,觸針置于工件上,與被測表面垂直接觸,傳感器由驅動器以一定速度拖動。由于被測表面輪廓的起伏,接觸形狀在被測表面上滑動時會上下移動。這種運動使磁芯通過支點同步上下運動,從而改變磁芯周圍兩個差動電感線圈的電感。傳感器的線圈和測量電路直接接在平衡電橋上,線圈電感的變化使電橋失去平衡,于是輸出一個與觸針位移成正比的信號。這種微弱電量的變化經過電子設備的放大和相敏檢測后,就得到可以指示觸控筆位移和方向的信號。之后信號分三路:一路加零表指示唱針位置,另一路輸入DC功放,放大后驅動錄音機錄音;另一路經平均值表的放大器濾波放大后,進入積分計算器進行積分計算,這樣表面粗糙度Ra值就可以由指示表直接讀出。
測量范圍:S116:200μm, S128:400μm
分辨率:最小5nm(0.005μm)
傳感器類型電感
探頭下壓力150~300mg
使用標準:ISO,ASME,JIS等
ISO4287基本參數:Ra,Rv,Rz,Rt,Rp,Rq,Rmr,Rpc,RSm,Rz1max
Rsk,Rdq
鉆石尖半徑:缺省5μm 可選2μm、10μm
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