GCE高純供氣系統施工

高純氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。

1.施工管理和現場施工的幾個注意點

項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質量的培訓,了解特種管道的施工作業要求和規范,了解高純氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質量重要性的認識。

特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對管道施工人員要進行各種角度下的彎管培訓，對焊工也必須進行焊接程序的培訓，熟悉各種焊接參數的調整，最后管工和焊工都必須經過考試，由專門的質量管理人員確認合格后，發給作業許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓的重點。

現場的質量管理人員要做好材料的質量檢查記錄和每天的施工質量檢查記錄，包括管工彎管的質量，尺寸是否準確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道，預制好的管道，管口是不是封好;(管道封口應套上管帽，再采用EP管完好的內包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒有管帽，則采用套一層內包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業者和焊接數量記錄。

焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣，經檢查合格后方可進行焊接施工，每天的施工結束后還必須做一個末試樣，以確認今天的焊接作業是否存在焊接隱患。每次電源變更的時候，都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數。每天的焊接試樣要妥善保存。(焊縫質量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷)

架設到管架上的管道，在焊接作業開始后就要采取不間斷充氣的方式，即從施工開始到施工結束管道內都要處于沖氣保護的狀態，但在不進行焊接作業時可適當調小管內氣壓。但對要求不是很高的施工，為了降低成本，每天的焊接結束后，把兩端用管帽和潔凈膠帶封死。在這里要特別提出的是對輸送強腐蝕性氣體的耐腐蝕性強的VM管進行對接施焊時，其充氣時間必須要達到4-5分鐘，而且必須不間斷充氣。

2.系統檢測

特氣管道施工結束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣大大提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀;顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米;而對要求更高的采用核凝結技術(CNC)它可達到0.01微米。其它氣相雜質的測試根據具體要求確定。

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