手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
激光干涉儀典型的應用就是測量機床精度，本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差。
對于平移軸而言，每根軸均有兩個直線度誤差，因此三根軸有六個直線度誤差，均可采用激光干涉儀分別測得。
原理：帶有圓孔的是直線度干涉鏡，其與待測軸相連一同運動;長條鏡是直線度反射鏡靜止安裝，其是對稱結(jié)構(gòu)，上下左右均對稱。當一束激光從源頭發(fā)出射入干涉鏡，干涉鏡將光束分成兩束，形成一個很小的角度分別去往反射鏡，由于反射鏡上下對稱，因此兩束光被反射后又回到干涉鏡，匯合成一股光束，去往激光頭的探測器。當運動軸產(chǎn)生直線度誤差時，會使得干涉鏡相對于反射鏡在水平橫向方向發(fā)生相對運動，而反射鏡是左右對稱的(左右的鏡片不在同一平面，有一定的角度)，因此會使得兩束分開的光束光程具有差別，根據(jù)此差別，即可測得運動軸產(chǎn)生的直線度誤差。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權(quán)利。
采購中心