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位移探針臺(tái)的介紹

來(lái)源:武漢重光科技有限公司   2022年11月14日 14:33  

  探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,探針臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
  重光提供的TS600E-OE位移探針臺(tái)可以在測(cè)試準(zhǔn)備和測(cè)試過(guò)程中精確移動(dòng)探針位置,實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的電極接觸;同時(shí)探針前端可調(diào)整角度和長(zhǎng)度,從而適應(yīng)樣品范圍更加廣泛。位移探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)、食品研究、藥物研發(fā)、地質(zhì)分析、高分子聚合物、航空航天、冶金、液態(tài)晶體、生物學(xué)等各種研究領(lǐng)域。技術(shù)參數(shù)如下:
 

TS600E-OE

制冷方式

無(wú)

正面觀察窗口大小

φ41mm

溫度范圍(℃)

-196到600℃

探針類(lèi)型

探針后端XYZ軸方向位置可調(diào),位移精度1um,位移范圍±6mm

顯示精度(℃)

0.1

探針材質(zhì)

鎢鋼或鈹銅(探針針尖1um)

控溫精度

0.1℃

探針數(shù)量

四個(gè)(可拓展為6個(gè))

樣品區(qū)域

30*35mm

外觀尺寸

410*410*80mm

最大加熱速率

50℃/min

腔體凈重

5Kg

最大冷卻速率

-40℃/min

備注

探針前端水平角度和長(zhǎng)度可調(diào)

 

 

 

 

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