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探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，探針臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
重光提供的TS600E-OE位移探針臺(tái)可以在測(cè)試準(zhǔn)備和測(cè)試過(guò)程中精確移動(dòng)探針位置，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的電極接觸；同時(shí)探針前端可調(diào)整角度和長(zhǎng)度，從而適應(yīng)樣品范圍更加廣泛。位移探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)、食品研究、藥物研發(fā)、地質(zhì)分析、高分子聚合物、航空航天、冶金、液態(tài)晶體、生物學(xué)等各種研究領(lǐng)域。技術(shù)參數(shù)如下：
| TS600E-OE | |||
| 制冷方式 | 無(wú) | 正面觀(guān)察窗口大小 | φ41mm |
| 溫度范圍（℃） | -196到600℃ | 探針類(lèi)型 | 探針后端XYZ軸方向位置可調(diào)，位移精度1um，位移范圍±6mm |
| 顯示精度（℃） | 0.1 | 探針材質(zhì) | 鎢鋼或鈹銅（探針針尖1um） |
| 控溫精度 | 0.1℃ | 探針數(shù)量 | 四個(gè)（可拓展為6個(gè)） |
| 樣品區(qū)域 | 30*35mm | 外觀(guān)尺寸 | 410*410*80mm |
| 最大加熱速率 | 50℃/min | 腔體凈重 | 5Kg |
| 最大冷卻速率 | -40℃/min | 備注 | 探針前端水平角度和長(zhǎng)度可調(diào) |
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