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位移探針臺的介紹

來源:武漢重光科技有限公司   2022年11月14日 14:33  

  探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一,探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
  重光提供的TS600E-OE位移探針臺可以在測試準備和測試過程中精確移動探針位置,實現微米級別的電極接觸;同時探針前端可調整角度和長度,從而適應樣品范圍更加廣泛。位移探針臺廣泛應用于半導體、生命科學、食品研究、藥物研發、地質分析、高分子聚合物、航空航天、冶金、液態晶體、生物學等各種研究領域。技術參數如下:
 

TS600E-OE

制冷方式

正面觀察窗口大小

φ41mm

溫度范圍(℃)

-196到600℃

探針類型

探針后端XYZ軸方向位置可調,位移精度1um,位移范圍±6mm

顯示精度(℃)

0.1

探針材質

鎢鋼或鈹銅(探針針尖1um)

控溫精度

0.1℃

探針數量

四個(可拓展為6個)

樣品區域

30*35mm

外觀尺寸

410*410*80mm

最大加熱速率

50℃/min

腔體凈重

5Kg

最大冷卻速率

-40℃/min

備注

探針前端水平角度和長度可調

 

 

 

 

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