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高真空膜滲透設(shè)備簡(jiǎn)單應(yīng)用
一、原理簡(jiǎn)介：
(1)滲透汽化膜技術(shù)是一種新型膜分離技術(shù)。依靠各組分在膜中的溶解與擴(kuò)散速率不同的性質(zhì)來(lái)實(shí)現(xiàn)混合物分離的新型膜分離技術(shù)過(guò)程。
(2)具有致密皮層的滲透汽化膜將料液和滲透物分離為兩股獨(dú)立的物流。料液側(cè)則一般維持常壓，滲透物側(cè)則通過(guò)抽真空或載氣吹掃的方式維持很低的組分分壓。
(3)在膜兩側(cè)組分分壓差的推動(dòng)下，料液中各組分?jǐn)U散通過(guò)摸，并在膜后側(cè)汽化為滲透物蒸汽。
(4)真空鍍膜技術(shù)的存在保障了集成電路的高度集成、性能、可靠性、生產(chǎn)效率等。影響頗大，據(jù)估計(jì)，將近50%的大型集成電路工藝都是與真空設(shè)備掛鉤的。
(5)原液中各組分通過(guò)膜的速率不同，透過(guò)膜快的組分就可以從原液中分離出來(lái)。從膜組件中流出的滲余物可以是純度較高的透過(guò)速率較慢的組分的產(chǎn)物。對(duì)于一定的混合液來(lái)說(shuō)，滲透速率主要取決于膜的性質(zhì)。
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
(1)在超導(dǎo)技術(shù)行業(yè)中的應(yīng)用，常見(jiàn)的鍍膜例子：高純度Nb超導(dǎo)濺射膜、InSb非晶超導(dǎo)膜、V-Hf-Zr系超導(dǎo)膜、Nb-(Cu)系超導(dǎo)膜、Nb-Ge系超導(dǎo)膜等。
(2)航天領(lǐng)域的設(shè)備要求能適應(yīng)高溫、射線(xiàn)輻照、超高真空的環(huán)境，對(duì)于這種環(huán)境下工作的設(shè)備，采用液體潤(rùn)滑劑等方法已不不著見(jiàn)效了，面對(duì)不可避免的高溫、摩擦、磨損、磨蝕、氧化、氣蝕、腐蝕、滲漏等因素影響，固體潤(rùn)滑膜是不可少的。
(3)各種結(jié)構(gòu)的薄膜太陽(yáng)能電池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族(如Cds-Cu?S)、Ⅲ-Ⅴ族(如CaAs)等薄膜太陽(yáng)能電池。鍍一層CaO、ln?O?、SnO?等金屬氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太陽(yáng)能集熱器當(dāng)中；鍍一層CaAs、InP等多晶半導(dǎo)體薄膜于基材之上則可用于太陽(yáng)能電池或太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)之中。
(4)實(shí)驗(yàn)鍍膜在反應(yīng)堆燃料元件表面通過(guò)離子鍍上鋁膜可達(dá)到防腐蝕的效果；在受控?zé)岷朔磻?yīng)堆的一些低原子序數(shù)、高熔點(diǎn)材料(如TiB?、B?C、TiC等)薄膜，可形成表面保護(hù)、高溫保護(hù)等。
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