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Brooks Instrument質量流量計5700系列參數
布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩定性并且經濟有效的測量儀器。結果:使運營投資價值和回報大化。
應用
化學品與石化分析和試驗過程
實驗室和分析系統
生命科學實驗室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應用
參數
流體類型 氣體
流量范圍 滿量程容量3 sccm - 2500 lpm
精度 ± 0.6% of SP
最大壓力 4500 psig
溫度 65℃
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