電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。
1、鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件,這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體。
電子透鏡用來聚焦電子,是電子顯微鏡鏡筒中最重要的部件。一般使用的是磁透鏡,有時也有使用靜電透鏡的。
2、真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向,由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構(gòu)成,并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。
3、電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。
電子顯微鏡的缺點:
1.在電子顯微鏡中樣本必須在真空中觀察,因此無法觀察活樣本。隨著技術(shù)的進步,環(huán)境掃描電鏡將逐漸實現(xiàn)直接對活樣本的觀察;
2.在處理樣本時可能會產(chǎn)生樣本本來沒有的結(jié)構(gòu),這加劇了此后分析圖像的難度;
3.由于電子散射能力,容易發(fā)生二次衍射等;
4.由于為三維物體的二維平面投影像,有時像不;
5.由于透射電子顯微鏡只能觀察非常薄的樣本,而有可能物質(zhì)表面的結(jié)構(gòu)與物質(zhì)內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不同。
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