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四探針測試儀使用說明

來源:北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司   2022年11月02日 10:50  

四探針測試儀使用說明

四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置,它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散層的薄層電阻進行測量,可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.   范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴展至105Ω—cm,
    分辯率為10-6Ω—cm
         方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω
2.  可測半導(dǎo)體尺寸:直徑Φ15—150mm
3.  測量方式:軸向、斷面均可(手動測試架)
4.  數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 
  (2)測量精度 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)
              2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)
  (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
              20mV檔以上>108Ω
5.  恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
   (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
   (3)電流精度:±(0.3%讀數(shù)+2字)
6.四探針測試探頭  (1)探頭間距:1mm   (2)探針機械游率:±0.3% 
                   (3) 探針:Φ0.5mm 

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