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Supra/Supra+系列光電子能譜儀的水冷系統主要用于x射線源陽極靶，單色器晶體、渦輪分子泵、磁透鏡、成像CCD等部件的冷卻。

水冷機及連接儀器主機的冷卻水路，如下圖所示：

水冷機注意的事項

水冷機需要注意的是液位、水溫、電導率、水壓這幾個方面。

液位低了需要及時補充去離子水。如果液位是短時間內降低的話就需要檢查一下是否有漏水，尤其是各個水管的接頭處。

水溫通常設定在20攝氏度，如果出現溫度不穩的情況，首先檢查散熱葉片上是否積聚了很多灰塵，清潔后還是不正常的話就需要聯系工程師解決。

電導率要求小于1μS/cm，高了的話需要及時清潔并更換去離子樹脂罐。

水壓通常設定在0.4至0.5MPa左右，其大小可以通過水冷機內部的旁通閥調整，但要注意過高的水壓設定會加重水泵的輸出負擔而影響其壽命。

上圖為：兩種型號的水冷機控制及顯示界面

上圖為：更換去離子樹脂罐

水冷機與儀器的水路中間有一個濾芯，平時需要檢查是否變質或者堵塞并及時更換。

在儀器待機情況下，只有MAG LENS氣動水閥打開。

當使用Mono X射線槍時，增壓泵打開，Mono XRAY GUN氣動水閥打開，Magnetic lens flow必須大于1.2 L/min，Mono X-ray source flow必須大于設定的Min. water flow (l/min)數值，通常設定在4至5.5L/min之間，否則程序報錯。

當使用雙陽極X射線槍時，增壓泵打開，Dual XRAY GUN氣動水閥打開，Magnetic lens flow必須大于1.2 L/min，Achromatic X-ray source flow必須大于設定的Min. water flow (l/min)數值，通常設定2至2.5L/min之間，否則程序報錯。

當儀器烘烤時，Magnetic lens氣動水閥關閉，Main circuit flow必須大于1L/min，否則真空單元報錯，烘烤程序終止。

內部水路維護的部件及位置

儀器內部水路需要維護的部件主要是水流傳感器和限流孔。

當冷卻水的異物堵塞在水流傳感器或限流孔內部時，會造成水流異常并且報錯。這時需要拆開水流傳感器或限流孔檢查清潔，甚至更換。當氣路、電磁閥或氣動水閥出現故障導致水流異常時，則需要對相應的部件進一步檢查排除。

上圖為：Supra的水流傳感器及限流孔所在位置

上圖為：Supra+的電磁閥、水流傳感器、氣動水閥、限流孔所在位置

限流孔堵塞了用牙簽把異物挑出即可，切勿使用金屬等硬物大力貫穿其中，容易造成限流孔變大從而導致其他回路水流變小。