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三維形貌儀是一種科學儀器，是用來偵測并分析現實世界中物體或環境的形狀(幾何構造)與外觀數據(如顏色、表面反照率等性質)。可分為接觸式、非接觸式、激光等類型。
三維形貌儀的應用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表面質量和缺陷檢測等。
本產品適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。
三維表面形貌儀技術特點：
1、每秒一百萬張二維圖像
2、無損表面形貌檢測和分析
3、高精度在線/離線檢測
4、模塊化設計，超高集成靈活性
5、無需苛刻的工作環境(振動，噪聲，溫度等)
6、可應用于科研和工業領域
三維表面形貌儀應用領域：
工業：
食品安全在線檢測
微電子集成電路表面形貌在線檢測
印刷電路板品質檢測
零件器件表面劃痕損傷檢測
微機械精加工質量控制，如鐘表，微機械器件等
電子產品零件在線監控，如手機，筆記本電腦，平板等
微流體器件三維形貌檢測
在線檢測設備集成
證件防偽，安檢
科研：
MEMS器件
微機械零件表面形貌觀察和測量
微光學器件(太赫茲、紅外、微波、天線陣列)三維形貌表征
生命科學：生物組織/生物體的 三維形貌測量
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