手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
對(duì)多種氣體的快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度的測(cè)量、寬廣的測(cè)量區(qū)域、高靈敏的響應(yīng)是半導(dǎo)體工業(yè)的要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸等的濃度測(cè)量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光刻膠發(fā)生反應(yīng)時(shí)，半導(dǎo)體器件的質(zhì)量將受到深刻影響。傳統(tǒng)和古老的方法大多采用間接測(cè)量和分析方法。這些方法包括沖擊過(guò)濾法、離子色譜法和化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作太復(fù)雜，價(jià)格昂貴，測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。
AMC空氣分析證明，深紫外光刻工藝深受多種微污染物的影響，對(duì)許多微污染物特別敏感，如氨氣或酸性氣體，會(huì)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)危害。雖然隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，長(zhǎng)期連續(xù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)已經(jīng)減少，事實(shí)上，空氣分子污染物（AMC）的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量非常重要。
AMC空氣分析監(jiān)測(cè)還集成了一個(gè)多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可以將氣體依次抽到分析儀或傳感器上，并讀出測(cè)量結(jié)果。嵌入式報(bào)警、報(bào)告和分析軟件由在半導(dǎo)體行業(yè)有多年經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開(kāi)發(fā)。模擬模塊可以輸出4-6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。每臺(tái)分析儀都配備了一臺(tái)內(nèi)置計(jì)算機(jī)，可以存儲(chǔ)和輸出數(shù)據(jù)。它還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，遠(yuǎn)程操作可以實(shí)現(xiàn)多層次的管理權(quán)限控制和操作。
AMC空氣分析儀基于CEAS（腔體增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，儀器使用簡(jiǎn)單，操作方便。所有部件（包括內(nèi)置真空泵、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、顯示器等）在幾分鐘內(nèi)就可以開(kāi)始記錄數(shù)據(jù)。其他大氣中的水蒸氣、CO2、O2、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF、NH3等造成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可將大量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到內(nèi)置硬盤(pán)，通過(guò)數(shù)字接口或模擬接口傳輸數(shù)據(jù)，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù)，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫(kù)適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心