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表面輪廓儀是一款三維表面形貌測量設備，采用白光共聚焦技術，可實現對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高、速度快、重復性好的優點，該儀器性價比高，可用于取代傳統的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。
表面輪廓儀測量具有非破壞性，測量速度快，準確度高，測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒)，尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面，不受樣品反射率、環境光的影響，測量簡單，樣品無需特殊處理。
傳統意義上，表面輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但在測量過程中，所測量的樣品需保持在靜止的狀態下，如果樣品不穩定或者處于運動狀態則會引起圖像混亂模糊、數據不完整或者數據丟失等現象。然而對于MEMS設備，需要確定該設備處于運動狀態時的形貌特征，了解和確定其在運動狀態下的功能和特征對研發和生產質量控制至關重要，作為質量檢驗，只有動態測量才可以真正模擬MEMS實際運行狀態，從而達到正真的功能檢測。
表面輪廓儀即可實現這一測量功能，運用動態測量模塊可以形成一個動態測量體系。一個頻閃的LED光源同步于MEMS設備的觸發信號，通過調整光源的頻閃頻率，其MEMS設備的運動被有效“靜止”。實現光學輪廓儀在動態設備上進行測量。
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