真空蒸鍍,簡稱蒸鍍,是指在真空條件下,采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化,粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣泛的氣相沉積技術,具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結構和性能等優(yōu)點。
真空蒸鍍的流程工藝
1、 脫脂處理 用丙酮或酒精進行清洗
2、 表面處理(必要時) 電暈(corona)放電處理,紫外線照射處理等。
3、 底面涂布/硬化處理(必要時)
為了得到精美的蒸鍍膜,有時必須進行底面涂布處理。進行底面涂布處理可以得到以下的效果:
(1)、改善樹脂與蒸鍍膜之間的密接性
(2)、將成型品表面的微小凹凸部分填平,以獲得如鏡面一樣的表面
無論是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須進行底面涂布處理。底面涂布工藝基本與涂布工藝相似。如一般的涂料一樣,可以使用噴槍進行噴涂。
4、 真空蒸鍍工藝 蒸鍍金屬為鋁、金等。
5、 表面涂布/硬化處理(必要時)
由真空蒸鍍所產生的金屬薄膜相當的薄,為了利用外界的化學、物理等性能,以達到保護蒸鍍膜的目的,有時需要實施表面涂布處理(或過量涂布)。
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