流動脫氣一般是用于比表面快速分析的,它對于除去表面大量弱結合的吸附水非常好, 但對在孔道中吸附的水,只有經長時間吹掃使之擴散至表面,才能被帶出。
真空脫氣對于除去表面大量弱結合的吸附水是不好的, 因為水會在泵中擴散,導致泵的抽力下降。 但對孔中吸附的水,不需要經很長時間就能擴散至表面,繼而被帶出。所以,對于含水量較高的樣品,應先在烘箱中烘烤過夜,再上真空脫氣站,以保護真空泵。
對于真空脫氣來說,其對樣品清潔能力明顯優于流動脫氣,但同時需要考慮的是真空度不同,脫氣效率是明顯不同的。對于含有超微孔樣品,深層次的吸附水分子因氫鍵結合可以堵塞孔道,它們必須經過分子泵脫氣才能清除, 即脫氣站真空度必須達到與分析站同樣的真空度。
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