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分子真空泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。
可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。
分子泵應該如何清洗？
(1)關掉分子泵，進行排氣。
(2)從設備上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一個盛有*的容器中，液面高度略低于前級真空接口。
(5)上下活動分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉子的葉片清洗。換掉*，加人新的*，最少要重復一次。每次在*中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口朝上，再緩慢放平，以便排出磁性軸承中的酒精。
(7)用一個網格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要損傷。
(8)接上前級真空泵，在關閉分子泵的情況下，利用前級泵抽真空，使真空度達到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中殘留的*。
(9)因前級真空泵中有酒精，需更換前級泵真空油。
(10)接上分子泵開始工作，因為經過處理后，分子泵中仍有殘留的酒精存在，因此第一次抽真空比較慢，屬于正常情況。
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