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工業測量顯微鏡多用于觀察非透明的樣品，因此主要采用反射照明，主機機身上搭載有反射照明器。觀察方式主要包括：明視場、暗視場、微分干涉、偏光、熒光等。
工業測量顯微鏡的使用方法：
1、根據物體顏色，選擇工作臺黑、白其中之—面，將所需觀察的物體放在工作臺上。
2、選擇適當的放大倍率，換上所需的目鏡(10×或20×)。如在80倍以下觀察，則可卸下2×大物鏡，其有效工作距離為85mm，如加2×大物鏡，放大倍率可達160×，則有效工作距離為25mm，調節工作距離，可以松開鎖緊手輪7，并拉出或壓入活動支柱6來達到。
3、操作時，將物體移至工作臺中心位置。轉動升降手輪，使左面目鏡能看到消晰的物象。如右面目鏡的象不清晰，則可以轉動目鏡調焦環，使之得到與左面目鏡同樣清晰的物象。這樣就看到了具有立體感的清晰的物象。這樣，調焦工作就基本完成。
為得到道當的放大倍串，則可撥動轉盤，改變變倍物鏡的放大倍率來達到。變倍物鎮的放大倍率可以在讀數圈上讀出。在必要時，可調節直角棱鏡組，改變目鏡問的距離，以適合觀察者的雙眼距離進行觀察。松開制緊螺絲，可以使顯微鏡繞軸作任意位置旋轉。
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