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GasPro™過濾器TEM-150-24短管入口/出口技術規格

來源:上?;壑倒I設備有限公司   2022年08月15日 18:09  

GasPro™過濾器TEM-150-24短管入口/出口技術規格

GasPro™TEM-100系列

•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和腐蝕粒子在內表面上堆積。

•包裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔TEM-100過濾器,并在無塵室內包裝,不含有機成分處理包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。終組件被清除用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。

•多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾(三葉草)衛生和法蘭類型,可根據要求提供。

•氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進行測試。

零件號、入口/出口配件、過濾介質/外殼、其他材料、長度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯

氟橡膠®密封件*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0”)

GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24

GasPro™TEM-100系列濾光片的設計波長為3 nm顆粒截留率高達300 scfm,以及溫度敢達80oC(176oF)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)帶著

聚丙烯支撐結構封閉在不銹鋼316L外殼,具有的流動性和穩定性耐化學性。使用標準Viton®o形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。

應用

•一般和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器和其他高純度應用。

•用于關鍵平板工藝的氣體,包括襯底退火。

•關鍵工藝的清潔干燥空氣,包括:前開口統一吊艙(FOUP)清潔和安裝光刻。

規格

•過濾等級我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。

•高工作溫度*80攝氏度(176華氏度)。

建議更換:在69oC(156oF)以上運行6個月。

•大工作壓力在20°C(68°F)條件下為17.2bar(250 psig)。

•大正向流量壓差

20oC(68oF):6.0bar(87磅/平方英寸)

80oC(176oF):4.0bar磅/平方英寸)


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