CPPT-DA型大理石氣浮隔振平臺 產(chǎn)品說明
大多數(shù)光學(xué)實驗或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性,嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實驗的進(jìn)行,振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動,地面固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動,這一類振動需通過光學(xué)平臺的隔振支架衰減;而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來隔絕。
隨著光學(xué)加工設(shè)備和測量儀器精度的不斷提高, 其對工作環(huán)境的振動隔離提出了更加嚴(yán)苛的要求。例如,離子激光器泵浦噴流染料激光器時,激光器的振動要求達(dá)到了微米級;由于可見光波長約為0.5微米,即使振動在次微米級別時,以光的干涉為基礎(chǔ)的實驗(如全息攝影) 也將無法進(jìn)行; LμmArray 公司的并行激光直寫設(shè)備的直寫頭振動線位移不能超過15nm ;超精密機械加工的表面粗糙度要求已經(jīng)達(dá)到 0.1nm ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達(dá)到亞納米級。因此,對光學(xué)加工設(shè)備及光學(xué)測量儀器進(jìn)行有效的隔振是保證科研生產(chǎn)活動正常進(jìn)行的必要條件。
同時,對于大型精密光學(xué)儀器來說,其除了有近乎嚴(yán)苛的隔振要求外,儀器本身往往還具有較大的體積和質(zhì)量,這對作為隔振基礎(chǔ)的光學(xué)隔振平臺的承載能力和工作空間也提出了更進(jìn)一步的要求。因此,隔振性能好、承載能力強、工作空間大的大型或超大型精密光學(xué)隔振平臺具有了較大的市場需求。
創(chuàng)譜儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)隔振平臺廣泛的應(yīng)用于精密科研光學(xué)試驗、加工及測量中,是您理想的選擇。
◆臺面采用雙零級大理石,表面精度高,平面度高,穩(wěn)定性好
◆創(chuàng)譜大理石氣浮隔振平臺隔振基礎(chǔ)同樣采用精密囊式空氣彈簧隔離、減振液和高阻尼小孔,隔振性能良好
◆輕松調(diào)節(jié),穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊
◆自動水平,自動充氣,全部氣動執(zhí)行元件,采用原裝德國FESTO產(chǎn)品
◆*空氣機氣源,噪聲低(小于65分貝)
技術(shù)參數(shù)
◆水平方式:自動充氣,自動平衡
◆表面粗糙度:<0.08μm
◆固有頻率:垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
◆振幅:≤1.2μm
◆重復(fù)定位精度:±0.05mm
應(yīng)用
◆精密測量儀器 ◆醫(yī)療設(shè)備 ◆包裝機械 ◆精密電子元器件裝配 ◆光譜測量與校準(zhǔn) ◆激光干涉 ◆光電儀器研發(fā)與測試 ◆精密機械制造
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