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表面粗糙度測量儀的工作原理是什么?

來源:深圳市牛精測量儀器有限公司   2022年08月10日 11:30  
  表面粗糙度測量儀工作原理:電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針,觸針曲率半徑很小,測量時將觸針搭在工件上,與被測表面垂直接觸,利用驅動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測表面滑行時,將產生上下移動。此運動經支點使磁芯同步地上下運動,從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發生變化。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的,線圈電感量的變化使電橋失去平衡,于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號,經電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后,將信號分成三路:一路加到指零表上,以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動記錄器進行記錄;另一路經濾波和平均表放大器放大之后,進入積分計算器,進行積分計算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
  表面粗糙度測量儀是評定零件表面質量的臺式粗糙度儀。可對多種零件表面的粗糙度進行測量,包括平面、斜面、外圓柱面,內孔表面,深槽表面及軸承滾道等,實現了表面粗糙度的多功能精密測量。表面粗糙度的測量方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類。在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等;非接觸測量方式中常用的有光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、AFM、光學傳感器法等。

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