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透射掃描電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經放大后，在熒光屏上顯示與常規透射電子顯微鏡相對應的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。
透射掃描電子顯微鏡的工作原理：
它的成像不同于一般的平行電子束TEM，EDS成像，它是利用會聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場發射電子源發射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點掃描樣品的一個區域。在每掃描一點的同時，樣品下面的探測器同步接收被散射的電子。對應于每個掃描位置的探測器接收到的信號轉換成電流強度顯示在熒光屏或計算機顯示器上。樣品上的每一點與所產生的像點一一對應。從探測器中間孔洞通過的電子可以利用明場探測器形成一般高分辨的明場像。環形探測器接受的電子形成暗場像。
透射掃描電子顯微鏡的產品優勢：
1、利用掃描透射電子顯微鏡可以觀察較厚的試樣和低襯度的試樣。
2、利用掃描透射模式時物鏡的強激勵，可以實現微區衍射。
3、利用后接能量分析器的方法可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子。
4、進行高分辨分析、成像及生物大分子分析。
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