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真空爐漏氣毛病維修的關鍵，是看能否精確地判別出毛病點(漏氣位置)，檢查辦法如下：
(1)依照壓升率測試辦法停止壓升率檢測后，假如真空爐爐膛內的真空度不斷降落，且管路真空度堅持不降低，闡明真空爐爐膛有漏氣點。此時，應該用氦質譜檢漏儀對真空爐爐膛可能存在漏氣點的位置停止檢漏，著重檢查加熱電極、熱電偶裝置孔和熱電偶自身、氣體銜接法蘭和充氣閥門、爐門、壓力表和壓力傳感器銜接處、真空規管銜接處等與外界有接口的中央；關于真空氣淬爐，還應檢查熱交流器有無走漏，通常內部循環設備的熱交流器在設備的內部，難以檢查，能夠應用熱交流器冷卻水管的接口通入氦氣的辦法檢漏。
(2)假如真空管路上的真空度很快降落，且真空室真空度堅持較好或者略有進步，則應該對真空管路和真空泵系統停止檢漏。
(3)假如真空管路和真空室真空度都不斷降低，還應檢查真空閥。
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