API激光干涉儀信息

XD Laser激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光器發出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射菱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子計數，記錄精確長度位置。第二束光作直線度測量的參考光束，傳感器和參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。

為了保證激光光束的穩定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到最小，從而保證測量儀的長期穩定性，測量儀配有自動氣壓，環境溫度補償器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到較低。