表面是指物體最表層的幾層原子和覆蓋在其上面的一些外來原子和分子所形成的的表面層。表面的厚度一般在零點幾納米到幾個納米之間，表面層具有*的性質，與內層性質有很大差異甚至*不同。由于表面在現代科學技術中的作用日益重要，所以科學家們把表面稱為物質第四態，叫做“表面態”。表面態指表面的局域電子能級，是一些在與固體體相離域電子能帶交換電子或共享電子方面具有活性的能級。

XPS是一種重要的常規表面成分分析技術，其分析深度約為0~100埃，也就是10nm以內(目前ULVAC-PHI的HAXPES具有雙陽極靶、雙單色器，已經具備30nm深度的無損分析能力)。它不但可以提供分子結構和原子價態方面的信息，還能提供各種化合物的元素組成和含量、化學狀態、分子結構、化學鍵方面的信息，可以給出表面、微小區域和深度分布等方面的信息。XPS可用于定性和半定量分析除H、He以外所有表面元素，因而廣泛地應用于材料研究的各個領域。

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– XPS Periodic Table

一臺商業化的XPS系統通常包括以下部分：單色化X射線源系統、真空系統、樣品觀察和操控系統、光電子探測器、能量分析器、能量傳輸透鏡、電荷中和系統、Ar離子槍、能譜儀控制和數據處理系統、烘烤加熱系統、循環水冷卻系統、電氣控制柜等。隨著技術的不斷發展，在大面積XPS分析、小面積微區XPS分析、SXI二次電子成像及精準定位、變角XPS分析、深度剖析、低能雙束荷電中和等基本功能上，更多的功能可以在XPS系統的基礎上得以實現，其中比較常見的功能包括：紫外光電子能譜(UPS)、反光電子能譜(IPES)、離子刻蝕技術(C60、Ar團簇離子槍)、SAM掃描俄歇能譜、反射式電子能量損失譜(REELS)、樣品加熱冷卻、真空互聯等等……

XPS幾乎應用于所有表面問題的研究，可定性半定量分析固體材料表面成分信息(包括元素組成、化學態等)，并且通過X射線可以進行選區分析從而表征成分的分布情況(ULVAC-PHI掃描聚焦式X射線可小于7.5微米)；所以XPS可被廣泛應用于合金、礦物、半導體、高分子聚合物，催化劑、硅酸鹽陶瓷、生物醫藥、能源材料等分析領域。

XPS可以應對從大面積到微區的分析需求，既可以表征表面成分，表面多層薄膜等，又可以對環境顆粒物、表面缺陷(腐蝕，異物，污染，分布不均等)進行微區定位分析，因此對于各種材料開發，材料剖析與失效機理的分析和研究具有不可替代的作用。

本文小編粗淺的介紹了X射線光電子能譜儀的一些基礎知識，后續我們還會提供更有價值的知識和信息，希望大家持續關注“表面分析家”！