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多功能試樣表面處理機(jī)制膜時(shí)可以設(shè)置三種模式

來(lái)源:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司   2022年07月14日 18:49  
  多功能試樣表面處理機(jī)是一種用于掃描電鏡和電子探針的樣品制備設(shè)備,可用于真空碳蒸鍍、真空鍍膜和離子濺射,在高純氬氣保護(hù)下也可用于各種離子處理。本設(shè)備處理后的樣品既可用于樣品的外觀觀察,也可用于成分分析,尤其是成分的定量分析。本儀器配備機(jī)械泵和分子泵,分子泵系統(tǒng)特別適用于對(duì)真空度要求高、真空環(huán)境好的用戶。
  
  多功能試樣表面處理機(jī)將硅片放入真空反應(yīng)系統(tǒng),通入少量氧氣,加1500V高壓,高頻信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號(hào),從而形成強(qiáng)電磁場(chǎng)石英管中,氧氣被電離,形成由氧離子、活性氧原子、氧分子和電子混合而成的等離子體輝光柱。活性氧(活性原子氧)能迅速將聚酰亞胺薄膜氧化成揮發(fā)性氣體,通過(guò)機(jī)械泵抽走,從而去除硅片上的聚酰亞胺薄膜。等離子脫膠的優(yōu)點(diǎn)是脫膠操作簡(jiǎn)單,脫膠效率高,表面清潔光滑,無(wú)劃痕,成本低,環(huán)保。
  
  在并聯(lián)電極反應(yīng)器中,反應(yīng)離子刻蝕室采用非對(duì)稱設(shè)計(jì),陰極面積小,陽(yáng)極面積大,被蝕刻物放置在面積較小的電極上。在射頻電源產(chǎn)生的熱運(yùn)動(dòng)下,帶負(fù)電的自由電子質(zhì)量小,運(yùn)動(dòng)速度快,迅速到達(dá)陰極;正離子由于質(zhì)量大,速度慢,不能同時(shí)到達(dá)陰極,從而在陰極附近形成帶負(fù)電的鞘層。在鞘層的加速作用下,正離子垂直轟擊硅表面,加速硅表面的化學(xué)反應(yīng)和反應(yīng)產(chǎn)物的分離,產(chǎn)生很高的刻蝕速率。離子轟擊也可以實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕,與等離子脫脂、等離子刻蝕相同,區(qū)別在于反應(yīng)氣體的種類和等離子體的激發(fā)方式。
  
  對(duì)于制膜,多功能試樣表面處理機(jī)可以設(shè)置三種模式:
  
  1、一種模式專門用于蒸鍍
  
  本儀器可同時(shí)蒸發(fā)兩種物料,最高溫度可達(dá)1800℃
  
  鎢絲加熱
  
  2、碳蒸發(fā)鍍膜方式
  
  該儀器包括兩組碳棒
  
  3、DC等離子濺射模式儀器含金靶(38mmdiax0.2mmt)

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