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MKS真空提升閥LPV1-50-AK-CLKS技術數據

來源:北京凱盛源科技有限公司   2022年07月13日 15:52  

MKS真空提升閥LPV1-50-AK-CLKS技術數據

類型低剖面、單級、波紋管密封提升閥


真空范圍大氣到1.0 x 10-9托


車身配置角度


港口SizeNW50


法蘭尺寸W50


法蘭類型ISO KF


氦泄漏率1.0 x 10-9標準立方厘米/秒


啟動氣動


限位開關編號


密封氟橡膠


氣缸容積6.4英寸3


氣缸氣壓90 psig±30 psig


啟動時間打開:0.45秒,關閉:1.13秒


內部彈簧閉合壓力60 psia


烘烤溫度150°C


典型壽命1000000周期


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