3D光學(xué)干涉輪廓儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的特種檢測(cè)儀器,利用白光干涉測(cè)量技術(shù),可為樣品表面測(cè)量提供快速、便捷的非接觸式地測(cè)量3D臺(tái)階高度,粗糙度和表面形貌。該技術(shù)采用優(yōu)化聚焦和*算法,能以很快的速度構(gòu)建3D圖形表面。既能提供易于采集的高分辨率圖像,又能提供可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。它特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。而其雙重防撞保護(hù)措施能更好的保護(hù)儀器,確保精度的準(zhǔn)確。
工作原理:
根據(jù)光波的干涉原理,儀器本身產(chǎn)生的可見光通過單色濾光片濾掉雜散光,變成了單一相位的光波,此光波通過掃描器掃描到被測(cè)量的光學(xué)材料上,與光學(xué)材料本身產(chǎn)生的光波發(fā)生了光波干涉,從而產(chǎn)生干涉條紋,兩個(gè)光波的波面間也產(chǎn)生連續(xù)的相位變化,干涉標(biāo)準(zhǔn)鏡和圖像采集器將獲取的干涉波的干涉條紋信號(hào)捕捉到后輸入計(jì)算機(jī),經(jīng)專業(yè)軟件將獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和擬合,在計(jì)算機(jī)顯示器上獲得了模擬的圖形,達(dá)到了光學(xué)材料的測(cè)量(彎度、平面、三維圖像)其精度可達(dá)3.5納米量級(jí),掃描范圍擴(kuò)展到縱向20mm,且具有較高的自動(dòng)化程度和目鏡可以更換的人性化設(shè)計(jì)。
3D光學(xué)干涉輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),可視化窗口,結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程。
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