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ASD地物光譜儀是一種利用金屬折射光進行檢測的設備，因為地球上不同的元素及其化合物都有自己的光譜特征，光譜因此更被稱之為為辨別物質的“指紋”，通過檢測金屬的光譜就可以來獲取物質的成分信息及元素含量。因其光譜儀的作用及應用范圍范圍非常廣泛，在汽車，膜工業，拉曼光譜，半導體工業，成分檢測等領域多有涉及。
ASD地物光譜儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。
ASD地物光譜儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
一般情況下ASD地物光譜儀光強值下降，原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
ASD地物光譜儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要我們檢查真空泵及清洗鏡片。
另外ASD地物光譜儀用久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。
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