管式爐使用前需要做好哪些準(zhǔn)備工作？

來源：中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司 2022年06月15日 18:49

　　管式爐是在沉底材料上生長優(yōu)質(zhì)石墨烯、碳納米管和碳化硅的專用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、涂層等新材料和新工藝。它在使用前需要做好哪些準(zhǔn)備工作呢？

　　1、設(shè)計(jì)溫度升降曲線。升溫速率不得高于10℃/min，降溫速率應(yīng)低于15℃/min。

　　2、清潔環(huán)境。

　　3、每周開始使用時(shí)，檢查機(jī)械泵油路是否在標(biāo)線以上，取下兩端蓋板，用吸塵器清潔剛玉爐管。

　　4、將樣品舟推入剛性管式爐中間（恒溫長度10cm）。

　　5、塞住兩個(gè)絕緣爐塞，使第二個(gè)爐塞的末端與爐體側(cè)面齊平。

　　6、安裝燃?xì)鉅t法蘭，確認(rèn)墊片落入凹槽內(nèi)。

　　管式爐使用步驟：

　　1、打開主電源，啟動(dòng)風(fēng)扇。

　　2、打開面板電源（順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)鎖定旋鈕）啟動(dòng)面板。

　　3、使儀表處于初始狀態(tài)（即PV顯示數(shù)值，SV閃爍顯示停止）。如果此時(shí)不在此狀態(tài)，按向上鍵復(fù)位儀器，使儀器只處于測(cè)量和顯示狀態(tài)。

　　4、長按左鍵1秒，進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài)。按左鍵移動(dòng)光標(biāo)，按上下鍵調(diào)整溫度設(shè)定值。

　　5、按Enter鍵1秒，進(jìn)入時(shí)間設(shè)置狀態(tài)。按左鍵移動(dòng)光標(biāo)，按上下鍵調(diào)整時(shí)間設(shè)定值。

　　6、節(jié)目后的下一步是時(shí)間狀態(tài)，值為-121結(jié)束所有節(jié)目。按回車確認(rèn)。

　　7、按住左鍵，然后按Enter鍵退出程序設(shè)置。

　　8、按左鍵進(jìn)入程序設(shè)置狀態(tài)，然后連續(xù)按確定鍵，檢查設(shè)置的程序是否符合預(yù)定的升溫降溫曲線。

　　9、按住左鍵，然后按回車鍵復(fù)位。

　　10、長按2秒進(jìn)入基本參數(shù)設(shè)置。連續(xù)按回車鍵查看基本參數(shù)。

　　11、按住左鍵，然后按回車鍵重置

　　12、按回車鍵1秒，查看是否為step1，即程序從step開始。

　　13、按住左鍵，然后按回車鍵復(fù)位。

　　14、按住向下鍵2秒，SV顯示運(yùn)行程序。

　　15、按綠色開機(jī)鍵啟動(dòng)加熱電源，觀察電流表和電壓表：（若工作電流超過150A持續(xù)數(shù)秒，按關(guān)機(jī)鍵斷開加熱電源，檢查功能參數(shù)設(shè)置）。

　　16、當(dāng)使用惰性氣體作為工作氣體時(shí)，加熱過程中要密切注意壓力表。如果壓力高于0.08mpa，立即打開出口閥門放空。

　　17、以氫氣為工作氣體時(shí)，冷卻過程中注意監(jiān)控錐形瓶中的氣體出口。如有反吸，立即逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，增加進(jìn)氣量。

　　18、管式爐升溫、保溫、降溫過程中操作人員不得離開。發(fā)生跳閘時(shí)，應(yīng)立即接通電源。

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