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管式爐使用前需要做好哪些準備工作?

來源:中美合資合肥科晶材料技術有限公司   2022年06月15日 18:49  
  管式爐是在沉底材料上生長優質石墨烯、碳納米管和碳化硅的專用設備,廣泛應用于半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、涂層等新材料和新工藝。它在使用前需要做好哪些準備工作呢?
  
  1、設計溫度升降曲線。升溫速率不得高于10℃/min,降溫速率應低于15℃/min。
  
  2、清潔環境。
  
  3、每周開始使用時,檢查機械泵油路是否在標線以上,取下兩端蓋板,用吸塵器清潔剛玉爐管。
  
  4、將樣品舟推入剛性管式爐中間(恒溫長度10cm)。
  
  5、塞住兩個絕緣爐塞,使第二個爐塞的末端與爐體側面齊平。
  
  6、安裝燃氣爐法蘭,確認墊片落入凹槽內。
  
  管式爐使用步驟:
  
  1、打開主電源,啟動風扇。
  
  2、打開面板電源(順時針轉動鎖定旋鈕)啟動面板。
  
  3、使儀表處于初始狀態(即PV顯示數值,SV閃爍顯示停止)。如果此時不在此狀態,按向上鍵復位儀器,使儀器只處于測量和顯示狀態。
  
  4、長按左鍵1秒,進入溫度設定狀態。按左鍵移動光標,按上下鍵調整溫度設定值。
  
  5、按Enter鍵1秒,進入時間設置狀態。按左鍵移動光標,按上下鍵調整時間設定值。
  
  6、節目后的下一步是時間狀態,值為-121結束所有節目。按回車確認。
  
  7、按住左鍵,然后按Enter鍵退出程序設置。
  
  8、按左鍵進入程序設置狀態,然后連續按確定鍵,檢查設置的程序是否符合預定的升溫降溫曲線。
  
  9、按住左鍵,然后按回車鍵復位。
  
  10、長按2秒進入基本參數設置。連續按回車鍵查看基本參數。
  
  11、按住左鍵,然后按回車鍵重置
  
  12、按回車鍵1秒,查看是否為step1,即程序從step開始。
  
  13、按住左鍵,然后按回車鍵復位。
  
  14、按住向下鍵2秒,SV顯示運行程序。
  
  15、按綠色開機鍵啟動加熱電源,觀察電流表和電壓表:(若工作電流超過150A持續數秒,按關機鍵斷開加熱電源,檢查功能參數設置)。
  
  16、當使用惰性氣體作為工作氣體時,加熱過程中要密切注意壓力表。如果壓力高于0.08mpa,立即打開出口閥門放空。
  
  17、以氫氣為工作氣體時,冷卻過程中注意監控錐形瓶中的氣體出口。如有反吸,立即逆時針調節流量計旋鈕,增加進氣量。
  
  18、管式爐升溫、保溫、降溫過程中操作人員不得離開。發生跳閘時,應立即接通電源。

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