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管式爐使用前需要做好哪些準(zhǔn)備工作?

來源:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司   2022年06月15日 18:49  
  管式爐是在沉底材料上生長優(yōu)質(zhì)石墨烯、碳納米管和碳化硅的專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、涂層等新材料和新工藝。它在使用前需要做好哪些準(zhǔn)備工作呢?
  
  1、設(shè)計(jì)溫度升降曲線。升溫速率不得高于10℃/min,降溫速率應(yīng)低于15℃/min。
  
  2、清潔環(huán)境。
  
  3、每周開始使用時(shí),檢查機(jī)械泵油路是否在標(biāo)線以上,取下兩端蓋板,用吸塵器清潔剛玉爐管。
  
  4、將樣品舟推入剛性管式爐中間(恒溫長度10cm)。
  
  5、塞住兩個(gè)絕緣爐塞,使第二個(gè)爐塞的末端與爐體側(cè)面齊平。
  
  6、安裝燃?xì)鉅t法蘭,確認(rèn)墊片落入凹槽內(nèi)。
  
  管式爐使用步驟:
  
  1、打開主電源,啟動(dòng)風(fēng)扇。
  
  2、打開面板電源(順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)鎖定旋鈕)啟動(dòng)面板。
  
  3、使儀表處于初始狀態(tài)(即PV顯示數(shù)值,SV閃爍顯示停止)。如果此時(shí)不在此狀態(tài),按向上鍵復(fù)位儀器,使儀器只處于測(cè)量和顯示狀態(tài)。
  
  4、長按左鍵1秒,進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài)。按左鍵移動(dòng)光標(biāo),按上下鍵調(diào)整溫度設(shè)定值。
  
  5、按Enter鍵1秒,進(jìn)入時(shí)間設(shè)置狀態(tài)。按左鍵移動(dòng)光標(biāo),按上下鍵調(diào)整時(shí)間設(shè)定值。
  
  6、節(jié)目后的下一步是時(shí)間狀態(tài),值為-121結(jié)束所有節(jié)目。按回車確認(rèn)。
  
  7、按住左鍵,然后按Enter鍵退出程序設(shè)置。
  
  8、按左鍵進(jìn)入程序設(shè)置狀態(tài),然后連續(xù)按確定鍵,檢查設(shè)置的程序是否符合預(yù)定的升溫降溫曲線。
  
  9、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位。
  
  10、長按2秒進(jìn)入基本參數(shù)設(shè)置。連續(xù)按回車鍵查看基本參數(shù)。
  
  11、按住左鍵,然后按回車鍵重置
  
  12、按回車鍵1秒,查看是否為step1,即程序從step開始。
  
  13、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位。
  
  14、按住向下鍵2秒,SV顯示運(yùn)行程序。
  
  15、按綠色開機(jī)鍵啟動(dòng)加熱電源,觀察電流表和電壓表:(若工作電流超過150A持續(xù)數(shù)秒,按關(guān)機(jī)鍵斷開加熱電源,檢查功能參數(shù)設(shè)置)。
  
  16、當(dāng)使用惰性氣體作為工作氣體時(shí),加熱過程中要密切注意壓力表。如果壓力高于0.08mpa,立即打開出口閥門放空。
  
  17、以氫氣為工作氣體時(shí),冷卻過程中注意監(jiān)控錐形瓶中的氣體出口。如有反吸,立即逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕,增加進(jìn)氣量。
  
  18、管式爐升溫、保溫、降溫過程中操作人員不得離開。發(fā)生跳閘時(shí),應(yīng)立即接通電源。

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