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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率要高于光學(xué)顯微鏡的分辨率
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡利用電子成像，類(lèi)似于光學(xué)顯微鏡使用可見(jiàn)光成像。由于電子的波長(zhǎng)遠(yuǎn)小于光的波長(zhǎng)，所以電子顯微鏡的分辨率要高于光學(xué)顯微鏡的分辨率。它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過(guò)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對(duì)樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析。SEM已廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)領(lǐng)域。
通常人眼能夠分辨的最小距離為0.2MM，為了觀察分析更微小的細(xì)節(jié)，人們發(fā)明了各種觀察儀器。首先出現(xiàn)的是光學(xué)顯微鏡，它利用可見(jiàn)光作為照明束照射樣品，再將照明束與樣品的作用結(jié)果由成像放大系統(tǒng)處理，構(gòu)成適合人眼觀察的放大像。一般而言光學(xué)顯微鏡能分辨的最小距離約為200um，是人眼的一千倍。
為突破光學(xué)顯微鏡的分辨極限，人們想到用電子束做照明束，并與上個(gè)世紀(jì)三十年代制造出了第一臺(tái)掃描電子顯微鏡。它的分辨率已經(jīng)達(dá)到了原子水平（≈0.1um），比光學(xué)顯微鏡提高了近兩千倍。
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡檢測(cè)范圍：
1、金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導(dǎo)體、紙張、化工產(chǎn)品的顯微形貌觀察及材料的晶體結(jié)構(gòu)、相組織分析；
2、各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性定量檢測(cè)；
3、粉末、微粒、納米樣品形態(tài)觀察和粒度測(cè)定；
4、機(jī)械零件與工業(yè)產(chǎn)品的失效分析；
5、鍍層厚度、成分與質(zhì)量測(cè)定；
6、生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。
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