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賽默飛電子顯微鏡將成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的功能結(jié)合，是需要對日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和更小的尺寸進(jìn)行更大量精確測量的半導(dǎo)體和內(nèi)存環(huán)境的平臺是半導(dǎo)體和存儲環(huán)境對先進(jìn)制程日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和不斷縮小的尺寸進(jìn)行大量精準(zhǔn)測量的平臺。
賽默飛電子顯微鏡擁有透鏡內(nèi)背散射探測器T1，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號，從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度，在導(dǎo)航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外。
在敏感樣品上，探測器的價值凸現(xiàn)出來，即使電流低至幾pA，它也能提供清晰的背散射圖像。復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準(zhǔn)確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進(jìn)一步延伸了T1BSE探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補充其探測能力，例如定向背散射探測器和低真空氣體分析探測器(GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇最有價值的樣品信息。
賽默飛電子顯微鏡按照標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，對于最有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用，可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(最高為500Pa)策略，通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機構(gòu)和專用低真空探測器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供分辨率和較大的分析電流。
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