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ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。ICP發射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。
高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
與其他類型的光譜儀相比，ICP光譜儀具有以下優點：
1. 多元素同時檢出能力。可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2. 分析速度快。試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3. 選擇性好。由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難。
4. 檢出限低。一般可達0.1～1ug·g-1，絕對值可達10-8～10-9g。用電感耦合等離子體(icp)新光源，檢出限可低至 數量級。
5. 用icp光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可達4～6個數量級。可同時測定高、中、低含量的不同元素。
6. 樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出*的優勢。
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