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淺述sem電子掃描電鏡樣品制備的要求

來源:津鈉儀器(上海)有限公司   2022年05月25日 14:03  
  sem電子掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品,在樣品表面激發出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關,也就是說與樣品的表面結構有關,次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉變為光信號,再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
 
  今天咱們來了解下sem電子掃描電鏡樣品制備的要求:
 
  1、塊狀樣品的制備
 
  對于塊狀導電樣品,基本上不需要進行什么制備,只要其大小適合電鏡樣品底座尺寸大小,即可直接用導電膠帶把樣品黏結在樣品底座上,放到掃描電鏡中觀察,為防止假象的存在,在放試樣前應先將試樣用丙酮或酒精等進行清洗,必要時用超聲波清洗器進行清洗。對于塊狀的非導電樣品或導電性較差的樣品,要先進行鍍膜處理,否則,樣品的表面會在高強度電子束作用下產生電荷堆積,影響入射電子束斑和樣品發射的二次電子運動軌跡,使圖像質量下降,因此這類樣品要在觀察前進行噴鍍導電層的處理,在材料表面形成一層導電膜,避免樣品表面的電荷積累,提高圖象質量,并可防止樣品的熱損傷。
 
  2、粉末樣品的制備
 
  對于導電的粉末樣品,應先將導電膠帶黏結在樣品座上,再均勻地把粉末樣撒在上面,用洗耳球吹去未黏住的粉末,即可用電鏡觀察。對不導電或導電性能差的,要再鍍上一層導電膜,方可用電鏡觀察。為了加快測試速度,一個樣品座上可以同時制備多個樣品,但在用洗耳球吹未黏住的粉末時,應注意不要樣品之間相互污染。
 
  對于粉末樣品的制備應注意以下幾點:
 
  (1)盡可能不要擠壓樣品,以保持其自然形貌狀態。
 
  (2)特細且量少的樣品,可以放于乙醇或者合適的溶劑中用超聲波分散一下,再用毛細管滴加到樣品臺上的導電膠帶上(也可用牙簽點一滴到樣品臺上),晾干或強光下烘干即開。
 
  (3)粉末樣品的厚度要均勻,表面要平整,且量不要太多,1g左右即可,否則容易導致粉末在觀察時剝離表面,或者容易造成噴金的樣品的底層部分導電性能不佳,致使觀察效果的對比度差。

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