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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力*低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
低溫泵是采取機械形式制冷的低溫液體循環設備，該設備特別適合于需要維持低溫環境、固定低溫環境下工作的化學、生物、物理實驗室，是食品工業、化學工業、大學院校、科研、遺傳工程、高分子工程等實驗室的常用設備。
優勢：
(1)低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產品無法相比的優勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標準；
(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；
(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；
(4)在要求大抽速的真空設備中，低溫泵是實用經濟的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速；
(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動；
(6)在真空中無任何運動部件，高穩定性，也不會帶來密封問題；
(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；
(8)低溫泵還可以進行選擇性的抽取某種氣體。
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